透過量測刷子碰觸到晶片時的接觸壓力,評估PVA刷子的清潔性能
在CMP後的清潔階段,會使用聚乙烯醇(PVA)刷子進行清潔。不同的刷子設計會有不同的晶圓清潔率,因此,在能清潔乾淨又不破壞晶圓的前提下,刷子與晶圓間的接觸壓力與面積就顯得至關重要。
I-Scan壓力分佈量測系統擁有2D與3D的顯示畫面,能即時顯現量測接觸壓力與面積,了解刷子在當下所造成的壓力分佈狀況。透過擷取到的數據調整刷子參數,找到最適合的配置,進而減少損壞、縮短生產時間並提高生產效率。
PVA刷測試
.確定刷子與晶圓間的接觸壓力
.比較刷子不同的設計
.機器設置與調整
.了解如何透過數據調整機器參數
用壓力感測片的好處
.確保晶圓的清潔性
.減少機器設置時間
.提高產量